%A 罗松杰, 王孝艳
%T
利用迈克尔逊干涉仪测量物体表面形貌
%0 Journal Article
%D 2022
%J 大学物理实验
%R 10.14139/j.cnki.cn22-1228.2022.01.018
%P 79-82
%V 35
%N 1
%U {https://dawushiyan.jlict.edu.cn/CN/abstract/article_1401.shtml}
%8 2022-02-25
%X
在大学物理实验迈克逊干涉实验光路观测干涉条纹的基础上，引入一种测量物体表面形貌的实验。实验要求学生通过改变参考镜的倾角引入光程差，以获得合适周期分布的干涉条纹，使用CCD 或工业相机采集单帧干涉条纹图样，通过 Matlab 编写以傅里叶变换与频域滤波为主的算法处理干涉条纹，得到被测物体的表面形貌。